中图分类号:TK124文献标志码:A
DOI:10.7652/xjtuxb202601009 文章编号:0253-987X(2026)01-0081-13
热失效是半导体器件的主要失效形式之一,器件的热分析对其安全稳定运行至关重要。随着半导体产业和微加工工艺(试读)...