摘要: MEMS陀螺是基于微机械电子技术(Micro-Electro-Mechanical System, MEMS)开发的惯性传感器。得益于体积小、成本低等优点,MEMS陀螺被广泛应用于航空航天、工业控制、消费电子等领域。为了研(试读)...