摘 要：提高等离子体增强化学气相沉积（PECVD）法制备的氮化硅薄膜品质在太阳电池光电转换效率领域有举足轻重的作用。承载大量硅片的石墨舟是管式PECVD设备中的关键核心部件，随着生产效率的不断提升，热力耦合环境下（试读）...
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