关键词： 单晶氮化镓；磨削温度；表面粗糙度；材料去除机制

中图分类号：TG 580.6

文献标志码：A

文章编号：1000-5013（2026）04-0426-06

Effect of Thermo-Mechanical Coupling on Grinding Removal Mechanism of S（试读）...